Plaquette de protection revêtue de céramique d'alumine de haute pureté
Lors du processus de gravure d'une entreprise de fabrication de semi-conducteurs, le procédé de gravure plasma produit des substances hautement corrosives, susceptibles de contaminer facilement la plaquette et d'affecter gravement les performances et le rendement de la puce. Pour résoudre ce problème, l'entreprise a personnalisé des matériaux de haute pureté.céramique d'alumineRevêtement. Composé à 99,3 % de céramique d'alumine haute pureté, ce revêtement résiste efficacement à l'érosion chimique lors de la gravure plasma grâce à son excellente résistance à la corrosion. Grâce à ce revêtement personnalisé, le taux de contamination des plaquettes a considérablement diminué et le rendement des puces s'est nettement amélioré. Il réduit non seulement les pertes de production dues à la pollution, mais améliore également la compétitivité des produits sur le marché, apportant des avantages économiques considérables aux entreprises. De plus, grâce à sa dureté et sa résistance à l'usure élevées,céramiques d'alumine, la durée de vie du revêtement est considérablement prolongée, réduisant les coûts de maintenance de l'équipement et les temps d'arrêt, améliorant encore l'efficacité de la production.
Les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) imposent des exigences extrêmement strictes en matière de chargement des plaquettes et de contrôle de la température. Les fabricants d'équipements pour semi-conducteurs ont personnalisécéramique d'aluminiumDes mandrins électrostatiques sont disponibles pour répondre à cette demande. Ce mandrin électrostatique est fabriqué en acier haute pureté.céramiques d'alumineAvec une pureté supérieure à 99,3 %, il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente stabilité. Pendant le processus de dépôt, la position et la température de la plaquette peuvent être contrôlées avec précision pour garantir l'uniformité et la qualité de la formation du film. Grâce à sa résistivité électrique élevée et à ses bonnes performances d'isolation électrique, il prévient efficacement les dommages causés par l'électricité statique à la plaquette et améliore la stabilité et la fiabilité du processus.
Les plaquettes nécessitent des manipulations fréquentes lors du processus de fabrication des semi-conducteurs, ce qui impose des exigences extrêmement élevées aux équipements de manutention. Après l'adoptioncéramique d'alumineGrâce à ses bras de manutention, une entreprise de semi-conducteurs a résolu efficacement le problème de pollution lors de la manipulation des plaquettes. Ce bras est fabriqué en matériau de haute pureté.céramique d'alumine, qui présente des caractéristiques de résistance aux hautes températures, de résistance à l'usure et de dureté élevée. Sa surface est lisse et difficilement contaminée par les particules. Dans un environnement sous vide, le bras de manutention peut manipuler les plaquettes de manière stable et précise, évitant ainsi les défauts de produit dus à la contamination. Parallèlement, sa durée de vie prolongée réduit les coûts de remplacement des équipements pour les entreprises et améliore la continuité et la stabilité de la production.