Les plaques en céramique d'alumine présentent un grand potentiel dans le domaine des semi-conducteurs
Une entreprise de fabrication de semi-conducteurs de renommée mondiale est confrontée à d'importants défis lors de la gravure de ses puces haut de gamme. Sous l'effet prolongé du plasma, les matériaux des chambres de gravure traditionnelles sont fréquemment sujets à la corrosion, ce qui entraîne une faible productivité et un taux élevé de produits défectueux. Pour résoudre ce problème complexe, après de nombreuses expériences et études, l'entreprise a décidé d'utiliser des matériaux de haute pureté.plaques en céramique d'aluminecomme matériaux de protection pour la chambre de gravure et les composants internes de la chambre.
Haute puretéplaques en céramique d'alumineElles présentent une pureté extrêmement élevée. Généralement, la pureté requise est supérieure à 99 %, et les impuretés d'oxydes métalliques (tels que MgO, CaO, SiO₂, etc.) sont strictement contrôlées dans une fourchette de 0,05 à 0,8 %. Cette grande pureté confère aux plaques en céramique d'alumine une excellente résistance à la gravure plasma. Comparée aux alliages d'aluminium utilisés en amont et à la solution de placage d'une couche d'oxyde d'aluminium anodisé sur l'alliage d'aluminium, cette haute pureté dense estplaques en céramique d'alumineÉvite efficacement le problème de contamination par particules métalliques. Parallèlement, les différences de coefficients de dilatation thermique entre la chambre de gravure et le substrat empêchent toute fissuration, ce qui améliore considérablement sa résistance à la gravure.