Céramiques d'alumine pour semi-conducteurs
Céramiques d'alumineElles sont largement utilisées dans divers composants des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Par exemple, dans les équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), les composants de la chambre de réaction en céramique d'alumine résistent aux environnements difficiles, tels que les températures élevées et la corrosion chimique, garantissant ainsi la stabilité et la régularité du processus de réaction. Dans les équipements de lithographie,céramiques d'aluminesont utilisés pour fabriquer des plates-formes optiques de haute précision et des composants porteurs, et leur dureté élevée et leur stabilité dimensionnelle contribuent à garantir la précision et la répétabilité de la lithographie.
Avec le développement des dispositifs semi-conducteurs vers la miniaturisation et les hautes performances, les exigences en matière de matériaux d'emballage électronique augmentent également.Céramiques d'alumineprésentent une bonne conductivité thermique, une bonne isolation électrique et de bonnes propriétés mécaniques, permettant de dissiper efficacement la chaleur générée par la puce tout en la protégeant des influences environnementales externes. Par exemple, dans les boîtiers céramiques multicouches (MLCC),céramique d'aluminesert de matériau de substrat, fournissant des connexions électriques fiables et un support physique pour la puce.
Céramiques d'alumineIls présentent une excellente stabilité chimique et une résistance aux hautes températures, ce qui en fait un matériau idéal pour la fabrication de capteurs à semi-conducteurs. Par exemple, dans les capteurs de gaz,céramiques d'alumineIls servent de support à des composants sensibles, capables de fonctionner de manière stable dans des environnements difficiles, notamment à haute température et à forte humidité, et offrent une sensibilité élevée et des capacités de détection sélective pour des gaz spécifiques. Dans les capteurs de pression, la résistance mécanique et la stabilité élevées descéramiques d'aluminepeut garantir que le capteur peut mesurer avec précision les changements de pression même dans des conditions de stress à long terme.
Lecéramique d'alumineUne inductance spirale planaire fabriquée par semi-conducteurs peut augmenter sa fréquence auto-harmonique. En testant sa valeur S à l'aide d'une méthode asymétrique d'analyseur de réseau, on peut en déduire les valeurs d'inductance et de Q. Des recherches ont montré que les paramètres d'électrode, tels que la largeur, l'espacement, le nombre de tours et le rayon de la bobine, ont un impact significatif sur la valeur d'inductance et le facteur de qualité. Dans la gamme des basses fréquences, les résultats des tests sont cohérents avec ceux de la simulation, mais à mesure que la fréquence augmente, la différence s'accentue en raison de l'effet parasite de la sonde de test.