Un fabricant chinois important d'équipements pour semi-conducteurs utilise 99 %tiges en céramique d'alumine de haute puretéCes composants de support de précision essentiels à la cavité de l'équipement remplacent la structure de support d'origine en acier inoxydable, permettant ainsi une double amélioration des performances et de l'efficacité opérationnelle de l'équipement.
Haute précision personnaliséetige en céramique d'alumineDotée d'une surface lisse et plane, cette tige céramique combine des caractéristiques essentielles telles qu'une rigidité élevée, un faible coefficient de dilatation thermique, une résistance à la corrosion par plasma, une isolation performante et une faible accumulation de poussière. Elle est ainsi parfaitement adaptée aux conditions de travail exigeantes des équipements de gravure, qui nécessitent propreté, haute précision et fonctionnement continu. Cette tige est principalement utilisée pour fixer les composants de détection optique et les structures de limitation de la plaquette à l'intérieur de l'équipement. Elle joue un rôle crucial dans le support précis, le calibrage du positionnement, l'isolation et la protection, garantissant ainsi la stabilité structurelle de l'équipement lors des opérations de va-et-vient à grande vitesse.
